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淺述單晶爐操作步驟

[2013/11/29]

      單晶爐簡單解釋為拉制單晶材料的設備。在現實操作過程共,為了能夠更好的保證生產的安全性穩定性,因此單晶爐的操作都有一套完整的流程。

   首先在準備作業前,操作人員要確保進入單晶爐車間時穿戴好統一干凈的服裝。在單晶爐開爐前,做好相應的檢查工作。準備好防塵口罩,馬金,一次性手套等常用用品。各類工具準備齊全。爐子在開始使用前,要對單晶爐進行清理。
   由于單晶爐的設備型號的不同,因此今天給大家介紹的步驟是常用單晶爐的操作步驟,具體到實際操作,還要根據型號而定。
   首先在單晶爐作業前,要做好準備工作,然后開始進行熱態檢漏,檢漏的要求在3分鐘以上,同時要做好記錄。接下來將單晶和籽晶取出,冷卻后要對單晶進行參數檢測,同樣需要做好記錄。接著將石墨件取出做好冷卻工作,之后要對進行重量檢測并做記錄。然后在通過真空過濾器來進行清洗,真空泵油的檢查更換。完成以上步驟,就要開始對石墨,單晶爐的室內進行清洗了,知道確認沒有污物為止。接下來就是對石墨的,石英坩堝,籽晶進行安裝,然后進行抽空繼續檢漏。最后引晶,縮頸,放肩,轉肩,然后等徑生長。最后單晶爐就進入收尾工作了。
(編輯:xiaoying)

 

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